加速度傳感器工作原理

發(fā)布時間： 2021-05-25　　點擊次數(shù)： 1166次

電容式加速度傳感器,多種量程可選：2g/5g/10g/30g/50g/100g/200g低頻振動，傾斜測量MEMS加速度傳感器，采用變電容原理（當(dāng)敏感元件受到加速度作用產(chǎn)生偏移，引起電容成比例變化）；該傳感器MEMS敏感元件具有良好的低頻和直流響應(yīng)特性，體積小、重量輕、全密封、殼體硬質(zhì)鋁氧化可靠隔離，特別適合于分析低頻或恒定加速運動。

主要技術(shù)指標(biāo)：

靈敏度（20±5℃）	1000 mV/g
測量范圍（峰值）	±1 g
大橫向靈敏度	≤5 ％
頻率響應(yīng)(-3dB)	0～ 800 Hz
非線性	≤0.5％
工作溫度范圍	-40～+120 ℃
溫度響應(yīng)	見溫度曲線
沖擊極限(無供電)	5000 g
靈敏度溫度系數(shù)	0.3 %/℃
噪聲	＜45 ug/√Hz
輸出阻抗	＜100 Ω
供電電源	+6～+16 VDC
工作電流	≤5 mA
零g偏置電壓	2.5±0.1 V
安裝	4-φ2.8孔
殼體材料	不銹鋼
重量	20 g
輸出方式	整體三芯屏蔽電纜線紅線：正電源；白線：地；綠線：輸出

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加速度傳感器 工作原理

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